基本参数法X射线荧光测厚

乐安全; 朱节清; 徐君权

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基本参数法X射线荧光测厚

科研成果报告 | 更新时间：2022-08-16

- 基本参数法X射线荧光测厚
- X ray fluorescence thickness measurement by the fundamental parameter method
- 核技术 1982年05卷第4期
- 作者机构：
  
  中国科学院上海原子核研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1981-04-04，
  
  纸质出版日期：1982-08
- 稿件说明：
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乐安全, 朱节清, 徐君权. 基本参数法X射线荧光测厚[J]. 核技术, 1982,05(4):1-6.

Anquan Le, Jieqing Zhu, Junquan Xu. X ray fluorescence thickness measurement by the fundamental parameter method[J]. Nuclear techniques, 1982, 05(4): 1-6.
乐安全, 朱节清, 徐君权. 基本参数法X射线荧光测厚[J]. 核技术, 1982,05(4):1-6. DOI：

Anquan Le, Jieqing Zhu, Junquan Xu. X ray fluorescence thickness measurement by the fundamental parameter method[J]. Nuclear techniques, 1982, 05(4): 1-6. DOI：

摘要

本文简要介绍了用放射性核素的非单能初级辐射，非破坏地绝对测量极薄层厚度的X射线荧光测厚技术。测量薄层厚度的精确度好于1.1%。与空气等效法α测厚仪的测量结果对照，相对偏差小于3.8%。

Abstract

This paper describes an X-ray fluorescence technique used for measuring thickness of ultra-thin coated layers absolutely and nondestructively with the non-monoenergetic primary radiation from a radioisotope source. It has been found that the precision for the layer-thickness measurements is better than 1.1%

and the relative deviation is less than 3.8% when the measured results are compared with those obtained from an α-ray thickness gauge based on the air equivalent method.

关键词

Keywords

references

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