变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试

刘楷; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 吴坤; 陈家华; 王勇; 巩志华

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变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试

同步辐射技术及应用 | 更新时间：2021-03-12

- 变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试
- Precision of a variable-included angle plane-grating monochromator (PGM) at SSRF
- 核技术 2009年32卷第12期
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院上海应用物理研究所
  2. 中国科学院研究生院
  3. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TH74
- 纸质出版日期：2009-12-01
- 稿件说明：
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[1]刘楷,薛松,卢启鹏,彭忠琦,吴坤,陈家华,王勇,巩志华.变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试[J].核技术,2009,32(12):881-884.

LIU Kai1, 2 XUE Song1 LU Qipeng3 PENG Zhongqi3 WU Kun1, 2 CHEN Jiahua1 WANG Yong1 GONG Zhihua1, et al. Precision of a variable-included angle plane-grating monochromator (PGM) at SSRF[J]. Nuclear techniques, 2009, 32(12): 881-884.
[1]刘楷,薛松,卢启鹏,彭忠琦,吴坤,陈家华,王勇,巩志华.变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试[J].核技术,2009,32(12):881-884. DOI：

LIU Kai1, 2 XUE Song1 LU Qipeng3 PENG Zhongqi3 WU Kun1, 2 CHEN Jiahua1 WANG Yong1 GONG Zhihua1, et al. Precision of a variable-included angle plane-grating monochromator (PGM) at SSRF[J]. Nuclear techniques, 2009, 32(12): 881-884. DOI：

摘要

在上海同步辐射装置软X射线谱学显微光束线站建设中

为达到变包含角平面光栅单色仪的能量分辨率要求

平面镜和光栅的转角重复精度必须要求达到0.43"。为此我们建立了一套由光电自准直仪组成的测试系统

可以对平面镜和光栅机构进行测试。应用该系统测试了平面镜转角重复精度为0.166"

光栅转角重复精度为0.149"

分辨率达到0.03"

满足了平面镜和光栅的转角重复精度和分辨率要求。此外

还测量了光栅切换机构的重复精度。

Abstract

In establishing the soft X-ray microscopy beamline at SSRF

angular repeatabilities of the plane mirror and the grating should be better than 0.43" to achieve the PGM’s energy resolution.We designed an autocollimator system to measure the plane mirror and the grating.Test results show that angular repeatabilities of the plane mirror and the grating are measured at 0.166" and 0.149"

respectively

and the resolution is 0.03"

satisfying the technical requirements of the plane mirror and the grating for the angular repeatability and resolution.The angle repeatability of the grating switch is very good

too.

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