您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
基体温度对钛膜表面形貌和力学性能的影响研究
加速器技术、射线技术及应用 | 更新时间：2024-10-25
|

    • 基体温度对钛膜表面形貌和力学性能的影响研究

    • Effect of substrate temperature on surface morphology and mechanical properties of Ti films

    • “在材料科学领域，研究人员采用电阻蒸发镀膜技术在钼基体表面沉积钛膜，通过XRD、SEM、AFM等手段表征了钛膜的微观结构和力学性能。研究发现，基体温度对钛膜的晶粒取向、晶粒尺寸、表面粗糙度和弹性模量有显著影响。随着基体温度的升高，钛膜的择优取向由（101）变为（002），晶粒尺寸、粗糙度和弹性模量均增大。”
    • 核技术   2023年46卷第10期 文章编号：100202

    • DOI：10.11889/j.0253-3219.2023.hjs.46.100202    

      中图分类号： TG115

    • 收稿日期：2023-04-10，

      修回日期：2023-04-28，

      纸质出版日期：2023-10-15

    移动端阅览

  • 王杏,马明旺,万瑞芸等.基体温度对钛膜表面形貌和力学性能的影响研究[J].核技术,2023,46(10):100202. DOI： 10.11889/j.0253-3219.2023.hjs.46.100202.

    WANG Xing,MA Mingwang,WAN Ruiyun,et al.Effect of substrate temperature on surface morphology and mechanical properties of Ti films[J].NUCLEAR TECHNIQUES,2023,46(10):100202. DOI： 10.11889/j.0253-3219.2023.hjs.46.100202.

  •  
  •  

0

浏览量

163

下载量

0

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。
提交
工具集
下载
参考文献导出
分享
收藏
添加至我的专辑

相关文章

低能Ar离子束辅助沉积Ag（111）薄膜
多束动态混合注入技术制备TiN厚膜的工艺、结构及性能研究
离子束感生PtSi的择优取向生长

相关作者

张正选
郑里平
柳襄怀
任琮欣
冯涛
蒋军
江炳尧
任春生

相关机构

中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体功能薄膜工程技术研究中心
中国科学院上海应用物理研究所
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室!大连１１６０２４
大连理工大学三束材料改性国家重
0